本研究使用回旋溅镀系统( Helicon sputtering system )分别在SiO2/Si、GaN/Sapphire两种基板上沉积AlN并制作层状表面声波元件，并利用雷射超音波系统量测AlN/SiO2/Si结构之表面波速及...
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helicon sputtering system
螺旋溅射系统
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