... coolant--冷却流体 heating fluid--加热流体 sealed medium--被密封介质 ...
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inner heating fluid bed dryer 内热式的流化床
fluid-heating medium 流体加热介质
thermal fluid heating system 货油加热系统 ; 热流体加热系统
heating working fluid 加热工作液
fluid heating 液体加热
fluid heating medium 流体载热介质
fluid heating device 输液加温器
fluid heating furnace 流体加热炉
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To provide a method and apparatus for heating fluid in the proximity head of a semiconductor wafer processing system.
提供了一种用于加热接近头中的流体的设备和方法。
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