该网络协助使用在氧化物、聚合物、和金属蚀刻、和电浆改良式化学气 相沉积 (PECVD)、高密度化学气 相沉积 ( HDCVD )以及物理气 相沉积 (PVD)，应用的即时功率和阻抗测量和分析来作紧密制程控制。
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