我们还在新的加速度传感器上应用了下一代高深宽比微机电系统(HARMEMS)技术，HARMEMS提供过阻尼机械响应以及卓越的信噪比，满足了从安全气囊系统到电子稳定性控制(ESC)的广泛的汽车安全应用的要求。
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...空圆筒体上的半径为r、匝数为N的线圈2、3，由于可移动布局的高度远大于间隔和宽度，所以该手艺称为高深宽比微电机系统（HARMEMS），应答器的天线线圈可以用金属蚀刻法、金属线缠绕法、真空镀金属法和导电油墨印刷法等多种方法制作得到，该手艺可通过深反应离子...
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飞思卡尔新一代高宽比微机电系统(HARMEMS)技术是适合安全气囊传感应用的成熟技术。加速度传感器采用先进的传感设计，改进传感器的偏移性能。
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