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这是应用在后段制程中的导线制作，Cirrus HTX系统有应材超高频(VHF)架构技术，材料氮化钛(Ti Nitride)应用在硬遮罩(hard mask)，这个全新的硬遮罩技术可以在10奈米以下的先进制程中，仍兼顾到微型导线结构的完整性。
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硬光罩(HARD mask)材料的选择,在 0.5μm 时代,加入磁场形成 MERIE(Magnetically- Enhanced RIE)及0.25μm时代的 DRM-RIE(Dipole-Ring-Magnet RIE),...
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Hard mask open 硬掩膜打通
Metal Hard Mask 金属硬掩膜
hard surface mask 硬表面掩模
Hard-Surface Cr Mask 硬面铬膜图罩
metal hard surface mask 金属硬表面掩模
hard-surface in-contact mask 表面坚固内接触掩膜
Hardmask
- abstract: A hardmask is a material used in semiconductor processing as an etch mask in lieu of polymer or other organic "soft" resist materials. The idea is that polymers tend to be etched easily by oxygen, fluorine, chlorine or other reactive gases to the extent that a pattern defined using polymeric mask is rapidly degraded during plasma etching.
以上来源于: WordNet
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