透明导电镓掺杂氧化锌(GZO)薄膜沉积到玻璃基板上用磁控溅射技术。通过各种方法,以了解其微观结构,光学和电学特性的薄膜进行了表征。
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GZO GIZO AIRPORT 吉佐机场
Our results exhibit that the optical and electrical properties of GZO thin films prepared by PLD method can be adjusted by the change of substrate temperature.
采用PLD方法制备gzo薄膜,衬底温度的改变可以对薄膜的光电性能起到调制作用。
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