摘 要 一种硅晶片的标准片(Golden Wafer)制备方法，尤指一种利用在标准片上沉积高品质障碍膜四氮化三硅膜或氮化硅膜等的方法为手段，其目的在维持标准片上的硼磷硅酸盐玻...
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golden wafer
金色的圆片
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