溅射现象是1843年格罗夫（Gmve）在实验室中发现的【1】，将 溅射原理应用于薄膜的制备从1870年就已经开始了。溅射过程是建立在气体辉 光放电基础上的。
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Lmda Gmve 琳达·格罗夫
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