光栅平动式光调制器(Grating Moving Light Modulator)
14 2 GMLM 机电特性分析与仿真 2 GMLM 机电特性分析与仿真 2．1引言 光栅平动式光调制器 （ GMLM ）是一种基于MEMS的新型光调制器，可应用 于投影显示及其相关领域。
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...光机电系统（Micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）技术的光栅平动式光调制器（Grating moving light modulator,GMLM）,提出一种无须外加测量结构,直接利用GMLM本身结构特性得到残余应力的测量方法。
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