...杂,但要求在大面积上均匀 一致,而且只允许极少的缺陷率,从而导致了一个新的技术概念:巨 微电子学(Giant Microelectronics)。
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因而导致一个新的技术观念诞生——巨微电子学(GIANT MICROELECTRONICS),共技术困难性就表现在“巨”与“微”的矛盾上,因为要在面积上解决有源矩阵的无缺陷制作,技术上非常困难。
Giant area microelectronics 中在大面积电子学
giant microelectronics
巨大的微电子
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