掠角X射线衍射(GAXRD)的分析表明，刻蚀后的BST表面上附着有一无定形态的钝化层，而亚表面及其内部仍然由BST晶粒所填充。
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对薄 膜进行掠入射角X射线衍射分析(GAXRD)， X’Pert Pro 靶为Cu K α1 (λ=0.154 06 nm)，工作电压为40 kV，扫 描区间为 10°≤2θ≤90°，步长为0.02°。
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