• 汽相掺杂 - 引用次数：4

  To deeply investigate doping technology and implement it, this dissertation will focus on the research of gas doping process.

  为了深入的研究并应用该项技术,本文对汽相掺杂工艺进行了研究和探讨。

  参考来源 - 硅单晶汽相掺杂技术的研究
• 气体掺杂

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