区熔硅
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FZ-Si 区熔硅 ; 区熔单晶硅 ; 单晶
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The most difficulty in growing FZ-Si crystal lies on the capacity of high frequency generator and technological conditions in growing crystal.
大直径FZ硅单晶的拉制最大困难在于高频加热设备能力和成晶工艺条件。
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