radio-frequency excited plasma [等离子] 射频激发等离子体
very-high-frequency excited capacitively coupled plasma 甚高频容性耦合等离子体
frequency excited plasma
频率激发等离子体
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动