matériel spécialement conçu pour la fabrication, l'assemblage, le conditionnement, les tests et la conception de dispositifs semiconducteurs , et de circuits et d'ensembles intégrés d'une taille minimum de micromètre a.
用于制造、组装、包装、测试和设计半导体器件、集成电路和组件的特殊设备，最小尺寸为a。
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