电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.
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本项目以TiO2纳米管阵列为研究对象,在实现对TiO2纳米管阵列的形貌结构有效控制的基础上,采用电化学原子层外延法(ECALE)在TiO2纳米管阵列上制备具有同轴异质结结构的超薄窄带隙半导体外延敏化层,利用ECALE独特的工艺优点得到不同厚度的同轴异质结外延...
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