... 杂质离子 foreign ion 杂质粒子 foreign particle 杂质煤 attrital coal; attritus; slatter ...
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最后，初步测试还显示较少或完全没有人工参与的自动校正过程还可大大降低杂质质点(foreign particle)的产生，并有可能提高产量。下列测算表显示的是典型的200毫米晶圆厂相对于每百分之一产量的年度节省。
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foreign particle inside the enclosure 外壳内有异物
foreign particle of bottle bottom 瓶底异物
free of foreign solid particle 无外来固体杂质
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