5：电极射频电源注意事项： 5.1：Ar起辉FAULT RESET（故障复位）灯亮起，则射频电源没有正常工作， 把对应电极关闭，重新把该电极开起来。
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Double Bus Fault Reset 双总线故障复位
No fault reset 无复位指示
fault reset sub-system 故障复位子系统
fault report and fault reset 故障报告以及故障复位功能
Reset pushbutton for fault tripping 故障脱扣复位按钮
fault reset
故障复位
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Fault indicator automatically reset the time Select jumper to 2 hours or 4 hours.
故障指示器的自动复位时间可跳线选择2小时或4小时。
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