...：超精密加工；快速刀具伺服；轨迹跟踪控制；分数阶PID控制 [gap=1257]Key words: ultra-precision machining; fast tool servo(FTS); trajectory tracking control; fractional PID controller ..
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机械工程学报 面形和微结构阵列等类型的光学元件应用范围越来越广，传统的机械加工方法难以满足面形精度和加工效率要求，超精密快刀伺服(Fast tool servo, FTS)是实现这类零件优质高效加工的有效手段。但是在复杂光学表面的快刀伺服加工中，面形的高低起伏将会使刀具和
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...快速伺服刀架 非圆数控车削是实现非圆截面零件高效、柔性、高精度加工的有效方法。非圆车削时，刀具在快速伺服刀架(fast tool servo，FTS)的驱动下，随着主轴高速回转沿工件径向做快速往复运动。FTS的跟踪精度是影响非圆截面零件轮廓精度的主要因素。
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