...Ii｜体源化学气相淀积）、ALEP和 EVD要求有较昂贵的技术成本 对AACVD（气溶胶源化学气相淀积）和 FACVD（火焰辅助化学气相沉积）的技术成 本相对较低 复杂形状成分涂层较容易 利用好的共形覆盖层沉积涂层 往往使用有挥发性／毒性的化学前驱体； 少挥发或...
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