...室（LBNL）及Sandia国家实验室构成的 联合实验室（VNL）及由Intel、AMD、Motorilal、 IBM等组成的极紫外有限责任公司（EUV LLC） 组成，研究经费由EUV LLC提供，总计25亿美 元。
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euv llc
euv有限责任公司
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