etching velocity
腐蚀速度
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
This paper reported a silicon micromachined gyroscope that is driven by the rotating carrier's angular velocity. The silicon chip was manufactured by anisotropy etching.
报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动