dry etching system 干式蚀刻系统 ; 干蚀刻机 ; 干法刻蚀设备
wet etching system 湿式蚀刻系统
helicon etching system 螺旋波蚀刻系统 ; 螺旋型蚀刻系统 ; 螺旋波蚀刻体系
ion beam etching system 离子束蚀刻系统 ; 离子束刻蚀系统
spray etching system 喷涂式蚀刻系统
immersion wet etching system 浸渍式蚀刻系统
photo excited etching system 光激励蚀刻系统
helical etching system 螺旋型蚀刻系统 ; 螺旋型蚀刻体系
reactive sputter etching system 反应性溅镀蚀刻系统
The ICP etching system and principle were introduced.
简单介绍了ICP刻蚀系统和刻蚀原理。
This paper designs an etching system with constant temperature for etching process in MEMS manufacture.
本文设计了一个恒温腐蚀系统，用于微机械加工制作中的腐蚀工艺。
The method for the graphic input in a laser-induced thermal etching system and writing device is described.
介绍了激光蚀刻、书写设备中的图形输入方法，着重讨论了图像预处理、直线段识别和圆弧识别的数学方法。
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