... etching1 蚀刻2浸蚀 etching chamber 蚀刻处理室 etching end point detection 蚀刻终点检测 ...
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.chamber)，而后经由加热室 (heating chamber)、蚀刻室(etching chamber)、溅镀室(sputtering chamber)、 冷却室 ( cooling chamber )， 最后经由载出室(unloading chamber)，完成薄模溅镀过程。
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ion etching chamber 离子蚀刻室
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SCD developed the first vacuum etching machine in China, with vacuum flood bar in the etching chamber; no pool effect; etching factor is up to 4.0.
SCD开发了中国国内第一台真空蚀刻机，蚀刻室内加装真空水刀，从根本上解决了水池效应，蚀刻因子提高到4。0以上。
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