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etch uniformity

  • 蚀刻均匀性：指在半导体制程中，蚀刻过程中各部分蚀刻速率相同，从而保证蚀刻后的表面平整度和结构尺寸的一致性。

网络释义专业释义

  均匀性

刻蚀速率R 刻蚀速率 (etch rate) 刻蚀均匀性 (etch uniformity) 选择性S 选择性 (Selectivity) 各项异性度A 各项异性度 (Anisotropy) 掩膜层下刻蚀 (Undercut)

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短语

Etch Rate Uniformity 刻蚀速率均匀性

  • 蚀刻均质性

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- 来自原声例句
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