...呕以对七通侄膊差搜疥汞碱厅吕乓生涩惕伏釜拙蹿仔浪汞廉b) 由于是光固化反应结膜,其膜的密贴性,结合性,抗蚀能力(Etch Resistance)..
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抗蚀刻性(Etch Resistance):不良的附著性与抗蚀刻性,会使光阻底 下的薄膜进行选择性蚀刻时,发生图案转移之误差或失败
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reactive ion etch resistance 耐活性离子腐蚀性
etch resistance
耐腐蚀
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It is characterized by advanced technology and compact structure as well as high purification efficiency and resistance to etch with less trouble and low energy consume.
该设备具有技术先进，结构紧凑，污染物去除率高，故障少，耐腐蚀，能耗低等特点。
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