... etch polishing 腐蚀抛光 etch profile 腐蚀断面图 etch ratio 腐蚀速度比 ...
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刻蚀剖面(Etch Profile):是指被刻蚀图形的侧壁形 状,由各向同性还是各向异性决定。 刻蚀偏差(Etch Bias):是指刻蚀以后线宽或关键尺 寸间距的变化。
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