... etch polishing 腐蚀抛光 etch profile 腐蚀断面图 etch ratio 腐蚀速度比 ...
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...等向性蚀刻表示横向和 纵向之蚀刻率相同，非等向性蚀刻则为横向性蚀刻率很慢或 为0,因此,可较完美调控蚀刻截面轮廓(Etch Profile)和线宽(CD Control)。 2-3.
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刻蚀剖面(Etch Profile):是指被刻蚀图形的侧壁形 状,由各向同性还是各向异性决定。 刻蚀偏差(Etch Bias):是指刻蚀以后线宽或关键尺 寸间距的变化。
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