凹蚀管 ( etch channel ) 为状似锯痕或刀砍的长条。它们乃由表面延伸入内，因此被视为内含物，可为直条或弯弧，可深可浅。
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etch-channel 腐蚀隧道
back channel etch 道蚀刻
back channel etch type 背沟道刻蚀型
etch channel
腐蚀通道
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We inspect etch channel density of the seed piece by piece.
低腐蚀隧道：为确保低腐蚀隧道密度，我们对晶种的腐蚀隧道密度进行逐块检测。
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