因此，必须经过严格的清 洗工艺去除这些沾污，从而满足MOCVD外延工艺的要求，达到开盒即用 （Epi-ready）的标准。 对于不同类型的沾污，需要采用不同的方法加以去除。
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...碳化硅晶片中试出产线，建成为了百级超净室，开发出碳化硅晶片外貌处理，洗濯、封装等工艺技能，使产品达到了即开即用(Epi-ready)的水准。几天前，第一批中试批量出产的6H和4H晶型碳化硅晶片产品已经下线,并发往国内用户。
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Epi-Ready Sapphire Wafer 晶片
Epi-Ready GaAs Wafer 砷化镓晶片
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