湿法选择腐蚀
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selective wet chemical etching 化学湿法刻蚀
wet selective etching
湿法选择性蚀刻
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We have explored technologies for the fabrication of VCSELs, such as wet etching, wet and selective oxidation and annealing.
对垂直腔面发射激光器的湿法腐蚀技术、选择氧化工艺、合金工艺等关键工艺进行了研究，得到了最佳工艺条件。
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