气体输配管道选材的原则 系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。 超洁净不锈钢管道、管件、阀门的定义 用途：不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净
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VMP Valve Manifold Panel 特气分流盘
valve manifold panel
阀歧管面板
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VMP (valve Manifold Panel), the valve plate will set up can give the gas facility operation to bring bigger convenience.
阀门盘的设立将会给气体设备操作带来更大的方便。
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