超高真空离子束 溅镀法 ( UHV IBS )的溅镀原理和薄膜成长机制与直流磁控溅镀有许多相似的地方,不同处在于溅射过程中高能离子的来源不是用阴极辉光放电(Cathode Glo...
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特高压肠易激综合症
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