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Tolerance on Thickness & Width 厚度及阔度公差
Tolerance on Thickness and Width 厚度及阔度公差
tolerance on thickness
厚度公差
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The enhancement factor strongly depends on the illumination spot size, taper Angle of the probe, and the metal film thickness. The tolerance of the alignment Angle is investigated.
研究发现电场增强跟入射光斑大小，探针的锥形角，以及金属膜厚度密切相关。
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