...四面体非晶碳;过滤阴极真空电弧;机械性 能;应力 中图分类号:O461.2 文章编号:1001-9731(2004)增刊 文献标识码:A [gap=8436]Key words:tetrahedral amorphous carbon;filtered cathodic vacuum arc;mechanical properties;stresss ..
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（凝聚态物理专业优秀论文）非晶碳基薄膜的纳米结构特性和局域场发射特性研究 - docin.com豆丁网 量大于70％。在文献中还会提到另外两种薄膜：非晶金剐石 （AmorphousDiamond，a-D）薄膜和四面体碳（TetrahedralAmorphousCarbon，ta-C） 薄膜。这两类薄膜通常是指类金刚石薄膜，而且在许多情况下，这两类薄膜的s矿 相的含量达到80％甚至是
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