...粒 ( p a r t i c l e s )、杂质 ( i m p u r i t i e s )、 自然氧化层 (native oxide)、和表面微粗糙 (surface microroughness)的要求，且允许以完 全的制程参数控制来达成，组合元素、元 件、与系统持续缩小化的发展趋势，使洁净 室 (或无尘室，clean room：...
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surface microroughness
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