表面活性剂是一种表 面活性物质 (surface-active species)，目前常 见的表面活性剂以 H 2 为主[9]，加入此活性 物质一方面可抑制矽锗磊晶时，锗于表面析 出所产生的互混 (intermixing) 现...
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surface-active species
表面活性的物种
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