• 亚微米梁 - 引用次数：2

  The sub-micro beam on the(100)wafer is released successfully too.

  同样,在(100)硅片上也成功制作出亚微米梁结构。

  参考来源 - 基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究

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