...机过程的特点不但能准确地模拟出刻蚀面，把晶体刻蚀后的表面形态、粗糙度再现出来，还可以研究晶面上的台阶聚并（Step Bunching）以及杂质对刻蚀影响等复杂现象【lJ。
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When the supersaturation is increased, elementary steps begin bunching together. At the initial bunching stage, the step height and step width are increased.
增大过饱和度， 基本台阶开始聚并， 聚并初期， 台阶高度增加， 进而台阶宽度增加；
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