根据开关晶体管和存储电容器的整体器件结构以及制程工艺,可将DRAM分为两大类:叠层电容器(stack capacitor)和深漕电容器(trench capacitor),前者将电容器制作于硅基片之上,而后者则将电容器通过深漕工艺埋入硅基片内。
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capacitor stack [电] 电容器叠柱
stack capacitor
堆栈电容器
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