...艺方面，各道工序以及原材料带来的杂质原子 的玷污必须保持在一个允许的最低限度之下，同步辐射全反射X 射线荧光光谱 （SR-TXRF）技术可以用来对半导体表面吸附的杂质进行快速、高灵敏、无损伤 的定量检测。SR-TXRF 的测量灵敏度是常规实验室仪器的50 倍以上。
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