...- docin.com豆丁网 500 L/s 非蒸发式结拖(Non-Evaporable Getter, NEG)帮浦；与 2 组溅射离子帮浦(Sputtering Ionization Pump, SIP)，抽气速率分别为20 L/s 与500 L/s。
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sputtering ionization pump
溅射电离泵
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