进黄光室 材料收起来并准备进黄白色表示石英舟 灰色表示晶片 玻璃烧结 玻璃烧结Glass SIPOSP+ N N+SIPOS LTO ( 低温氧化层沉积 ) 氧化层LTO ( Low Temperature Oxidation ) 利用LPCVD于低温下在晶片表面沉积 利用LPCVD于低温下在晶片表面沉积一层氧 化层 Why...
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sipos lto
sipo lto
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