单一晶片型式(single wafer type) 与射频溅镀系统比较，电浆辅助化学气相沈积系统最大的不同点在于反应腔体的设计和电极的外貌，在电 浆辅助化学气相沈积系统中，...
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Single-type wafer 单键威
single wafer type
单晶片型
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