• 硅脉象传感器 - 引用次数：5

  The process of silicon pulse sensor based on MEMS technology is compatible with IC process, which has expensive application prospect.

  基于MEMS技术制作的硅脉象传感器的制作工艺与集成电路工艺相兼容,有广泛的应用前景。

  参考来源 - 采用MEMS技术研制硅脉象传感器

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