【Key words】 photodetection； correlation detection； information processing； silicon microsensor；
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silicon resonant microsensor 硅谐振微传感器
silicon resonance microsensor 硅谐振微传感器
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The boundary structural parameters of a silicon resonant pressure microsensor are optimized in this paper.
对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。
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