简言之，CMOS MEMS是在标准的CMOS制程外，再辅以MEMS特有之体型(bulk)或面型(surface)矽微加工技术 (silicon micromachining)，即可在矽晶圆上制作出微米等级悬浮结构，使得这些微结构可以产生机械运动或形变等行为。
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关键词 : 陀螺 ; 微机械加工 ; 噪声 ; 滑膜阻尼 [gap=6265]Key words : gyroscope ; silicon micromachining ; noise ; slide2film damping
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bulk silicon micromachining 体微机械加工
mixed silicon micromachining 硅混合微加工
Silicon Micromachining Resonance 硅微机械谐振
silicon micromachining technique 硅微机械加工技术
silicon micromachining technology 硅微加工技术
silicon micromachining techniques 硅微机械加工技术
non-silicon micromachining technology 非硅微加工
silicon micromachining resonance sensor 硅微机械谐振传感器
silicon bulk micromachining 加工 ; 体硅工艺
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The design and fabrication of a novel deformable mirror based on silicon micromachining technology was presented in this paper.
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。
This paper presents the characteristics of silicon micromachining resonance vacuum sensor and a vacuum meter utilizing this sensor.
文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。
Porous silicon used as a sacrificial layer has some important applications in surface micromachining technology.
多孔硅作为一种牺牲层材料，在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。
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