silicon-based mems fabrication technology
12 中文名称 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 英文名称 Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area ..
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silicon-based mems fabrication technology
硅基mems制造技术
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In the design and fabrication of MEMS devices, MEMS fabrication process based on Silicon is a main technology, to which is deeply paid attention by researchers and industries.
在MEMS器件的设计与加工过程中，键合技术是体硅工艺的一项关键技术。
youdao
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