...simi和SGS）采用过此方法生产电子级多晶硅；不过，REC近期的多晶硅扩建项目采用了另一种硅烷法—— 硅烷流化床法 （Silane FBR），将硅烷(UCC法制成的硅烷可以包含副产品DCS）通入加有小颗粒硅粉的流化床（FBR）反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅。
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silane fbr
硅烷fbr
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Similarly, using silane in the way the FBR process was designed, carbon and oxygen are not introduced.
同样，在使用过程中的快堆设计，碳和氧硅烷的方法是没有介绍。
youdao
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