Key words : Al GaN/ GaN ; H EM T ; MO CV D ; p ower device ; SiC subst rates [gap=14381]关 键 词 : Al GaN/ GaN ; 高 电 子 迁 移 率 管 ; MO CV D ; 功 率 器 件 ; 碳 化 硅 衬 底 ..
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sic subst rates
碳化硅基材率
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